如果现有材料无法满足长期量产需求,立刻联合星源探索,启动替代材料研发。”
星源探索此时的研发团队已经非常庞大,仅仅材料研发就有十几支团队。
有女娲系统的协助,可以在最短时间内解决深蓝半导体的需求。
随着设备持续稳定运转,车间内的紧张氛围逐渐消散。
技术人员们各司其职,记录数据、监测参数,脸上都洋溢着兴奋。
新光源设备投射出的淡紫色光束如同精准的画笔,在晶圆表面勾勒出细密的电路纹路,每一道线条都均匀锐利,远超原有光源的表现。
两小时后,第四轮小批量测试完成。
王世杰刷新数据平板,声音带着抑制不住的激动:“楚总、沈院士,最新测试结果出来了!晶圆良率稳定在97.8%,线宽误差控制在±0.0025微米,连续运转四小时无任何参数漂移,热稳定性完全达标!”
他调出测试报告,屏幕上清晰显示:“光学镜头损耗率仅0.01%/千片晶圆,腔体腐蚀程度低于行业标准30%,各项指标均满足工业级量产要求。”
沈院士看着报告上亮眼的数据,忍不住赞叹:“这已经不是初步成功,而是完全具备量产条件了!
有了这套自主光源设备,深蓝半导体的180纳米光刻机产能至少能提升40%,良率再上一个台阶,后续45纳米光刻产线的研发也有了坚实基础。”
楚千澜脸上露出一丝淡笑,“光源设备量产是要提上日程了,但这180纳米光刻机提升产能就不需要了。
待到45纳米光刻产线完成研发,公司就没必要再维持这条180纳米的落后产线了!”