第417章 验证 领先 突发

他的话音刚落,刺耳的警报声瞬间打破车间的喜悦氛围,所有人的目光齐刷刷投向新光源设备的控制面板。

屏幕上弹出醒目的红色警告:“光束聚焦偏移,误差值超出安全阈值!”

王世杰脸色骤变,快步冲到操作台前,指尖在键盘上飞速敲击,试图修正参数:“怎么会突然偏移?刚才的稳定性测试明明毫无问题!”

张北光紧急调取实时监测数据,声音带着些许慌乱:“王总,是光学镜头的温度补偿模块出现异常!连续高负荷运转后,镜头热胀冷缩导致光路偏移,现在偏移量已经达到0.01微米,超出光刻允许的误差范围!”

沈院士眉头紧锁,扶着观察窗的手指微微收紧:“热稳定性还是没过关?极紫外光源的高能量特性本就容易导致部件发热,这是行业通病,但没想到会在这个节点爆发。”

楚千澜神色未变,目光紧紧锁定屏幕上跳动的偏移曲线:“别急,先切断光源输出,冷却设备后排查问题根源。”

张北光忽然说道,“这套光源的温度补偿算法是按实验室环境设计的,量产场景下的持续发热超出预期,必须优化散热结构和算法参数。”

王世杰立即下达指令,技术人员迅速响应,关闭光源,启动强制冷却系统。

淡紫色的光束逐渐熄灭,设备发出的嗡鸣也慢慢减弱,控制面板上的温度数值开始缓慢下降。

王世杰擦了擦额头的冷汗,语气带着些许后怕,“我们之前的测试时长最多只有一小时,没考虑到连续量产时的持续发热问题。光学镜头的散热通道设计得太保守,热量无法快速导出。”

虽然还没有进行全面检查,但故障原因已经基本确认。